Handbook of silicon semiconductor metrology /

Detaylı Bibliyografya
Diğer Yazarlar: Diebold, A. C.
Materyal Türü: Kitap
Dil:English
Baskı/Yayın Bilgisi: New York : Marcel Dekker, 2001.
Konular:
Diğer Bilgiler
Fiziksel Özellikler:xvi, 874 s. : res. ; 27 cm.
Bibliyografya:Bibliyografya ve dizin var.
ISBN:0824705068