Handbook of thin-film deposition processes and techniques: Principles, methods, equipment and applications/

Bibliographic Details
Other Authors: Seshan, Krishna,ed
Format: Book
Language:English
Published: New York: Noyes, 2002.
Edition:2nd ed.
Subjects:
LEADER 01058cam a22002651 4500
001 30708
008 030110s2002 nyu 00100 eng
020 |a 0815514425 
040 |a TRMEMSKU 
041 0 |a eng 
049 |a TR7VH 
050 0 0 |a TK7872.T55   |b HAN 2002 
245 0 0 |a Handbook of thin-film deposition processes and techniques:  |b Principles, methods, equipment and applications/  |c Ed. Krishna Seshan. 
700 1 |a Seshan, Krishna,ed  |9 166047 
250 |a 2nd ed. 
260 |a New York:  |b Noyes,  |c 2002. 
300 |a 629 s.;  |c 24 cm. 
500 |a Dizin var. 
504 |a Bibliyografya var. 
650 4 |a THİN FİLM CİHAZLARI-YAPI VE TASARIM  |9 166048 
910 |a 2550702010607076603  |b 90643 
942 |2 lcc 
999 |c 26099  |d 26099 
952 |0 0  |1 0  |2 lcc  |4 0  |5 0  |6 TK7872 T55 HAN 02002  |7 1  |9 41367  |a MK  |b MK  |c DP  |d 2008-03-18  |e S  |o TK7872.T55 HAN 2002  |p 0090643  |r 2016-12-10  |t 1  |w 2008-03-18  |y KT 
952 |0 0  |1 0  |2 lcc  |4 0  |5 0  |6 TK7872 T55 HAN 02002  |7 0  |9 41368  |a MK  |b MK  |c MK  |d 2002-12-30  |e S  |l 7  |m 1  |o TK7872.T55 HAN 2002  |p 0052352  |r 2016-12-22  |s 2016-12-22  |t 1  |w 2002-12-30  |y KT