Doering, R., & Nishi, Y. (2008). Handbook of semiconductor manufacturing technology (2. bs.). Boca Raton: CRC Press.
Chicago-стиль цитированияDoering, Robert, and Yoshio Nishi. Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology. 2. bs. Boca Raton: CRC Press, 2008.
MLA-цитированиеDoering, Robert, and Yoshio Nishi. Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology. 2. bs. Boca Raton: CRC Press, 2008.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.